H2S photoacoustic detection with an integrated THz gas sensor for food quality control
1 : Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX -
France
2 : Laboratoire de Physico-Chimie de lÁtmosphère
Université du Littoral Côte d'Opale : UR4493
Maison de la Recherche en Environnement Industriel 2 (MREI2) 189A, Avenue Maurice Schumann, 59140 Dunkerque -
France
3 : Vmicro SAS
* : Corresponding author
Vmicro SAS, Avenue Poincaré, 59650 Villeneuve d'Ascq, France.
Vmicro SAS - IEMN Avenue Poincaré - 59650 Villeneuve d'Ascq - FRANCE -
France
THz photoacoustic (PA) detection of H2S gas concentrations on the order of 100 ppm using a Poly-Si membrane as a PA microphone is reported. This result is a first step towards the demonstration of a fully integrated THz PA gas sensor with an expected sensitivity of 10's of ppb.