H2S photoacoustic detection with an integrated THz gas sensor for food quality control
Elias Akiki  1, *@  , Marie-Hélène Mammez  2@  , Guillaume Ducournau  1@  , Marc Faucher  1@  , Benjamin Walter  3@  , Gaël Mouret  2@  , Jean-Francois Lampin  1@  , Mathias Vanwolleghem  1@  
1 : Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX -  France
2 : Laboratoire de Physico-Chimie de lÁtmosphère
Université du Littoral Côte d'Opale : UR4493
Maison de la Recherche en Environnement Industriel 2 (MREI2) 189A, Avenue Maurice Schumann, 59140 Dunkerque -  France
3 : Vmicro SAS
Vmicro SAS, Avenue Poincaré, 59650 Villeneuve d'Ascq, France.
Vmicro SAS - IEMN Avenue Poincaré - 59650 Villeneuve d'Ascq - FRANCE -  France
* : Corresponding author

THz photoacoustic (PA) detection of H2S gas concentrations on the order of 100 ppm using a Poly-Si membrane as a PA microphone is reported. This result is a first step towards the demonstration of a fully integrated THz PA gas sensor with an expected sensitivity of 10's of ppb.


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